Tómarúm málmvinnslubúnaður

Eru PVD húðun örugg?

Líkamleg gufuútfelling er umhverfisvæn eða „húðun“ tækni sem dregur verulega úr magni eitraðra efna sem þarf að nota, stjórna og farga samanborið við önnur „blaut“ ferli sem fela í sér forvera vökva og efnahvörf sem notuð eru til að ná sömu niðurstöðu. . Vegna þess að það er fær um að framleiða einstaklega hreina, hreina og endingargóða húðun, er Physical Vapor Deposition sú tækni sem er valin fyrir skurð- og lækningaígræðsluiðnaðinn.

Veistu hvað húðunarvél er? Það vísar aðallega til tegundar húðunar sem þarf að framkvæma undir miklu lofttæmi, þar á meðal margar gerðir, þar á meðal lofttæmijónauppgufun, segulsviðasputtering, MBE sameindageislaepitaxy, PLD leysisputtingsútfellingu og margt fleira.

Tómarúmskerfið inniheldur vélræna dælu, frostdælu, grófloka, forlínuventil, hliðarventil og tómarúmsmæli til að greina lofttæmi. Meðan á segulrótsúðun stendur ætti að lágmarka áhrif köfnunarefnis, súrefnis og vatnsgufu á ferlið, þannig að lofttæmisstigið þarf að vera undir 0.13 mPa ~ 4 Pa. Nú eru almennt notuð þurrdæla og frostdæla. Þurrdælan er notuð til að dæla lágt lofttæmi. Í samanburði við upprunalegu vélrænu olíudæluna getur það komið í veg fyrir að olían og gasið í olíudælunni fari inn í lofttæmishólfið, mengar undirlagið og dregur úr viðloðun milli filmunnar og undirlagsins. Venjulega, eftir að þurrdælunni er dælt undir 6,5 Pa, er hliðarventillinn opnaður og frostdælan er notuð til að dæla háu lofttæmi. Cryogenic dælan einkennist af miklum dæluhraða, sérstaklega hæfileikinn til að fjarlægja vatnsgufu er mjög sterkur.

Sputtering húðunarkerfið samanstendur af DC aflgjafa, markefni, kælivatni, varanlegum segull, undirlagshitun, baffli, hlífðarlagi osfrv. Þetta er kjarnahluti magnetron sputtering stöðvarinnar. Jafnstraumsaflgjafinn gefur neikvæða háspennu upp á 300-1 000 V og setur hana á markið, þannig að markið er við bakskautið og undirlagið er við forskautið. Kælivatn er notað til að kæla markefnið til að koma í veg fyrir að markhitinn hækki of hratt vegna sputterings. Kælivatnsleiðslan ætti að vera úr einangrunarefnum eins og plaströrum, ekki málmrörum. Undirlagshitunarbúnaðurinn getur fjarlægt óhreinindi eins og vatnsgufu á undirlaginu, sem getur bætt viðloðun milli filmunnar og undirlagsins. Að auki, fyrir suma málma, getur viðeigandi hitastig bætt gæði filmunnar.

Umsókn

Parameter

Fyrirtækið okkar

maq per Qat: tómarúm málmvinnslubúnaður, Kína, birgja, framleiðendur, verksmiðja, sérsniðin, kaupa, verð, tilvitnun