Skartgripir PVD húðunarvél

Harðfilmuútfelling er sú tækni að setja mjög þunna filmu af efni – á milli nokkurra nanómetra til um það bil 100 míkrómetra, eða þykkt nokkurra atóma – á „undirlags“ yfirborð sem á að húða, eða á áður sett lag til að mynda lögum. Framleiðsluferli þunnfilmuútfellingar eru kjarninn í hálfleiðaraiðnaði nútímans, sólarplötur, geisladiska, diskadrif og sjóntækjaiðnað.

Þunn filmuútfelling er venjulega skipt í tvo víðtæka flokka - efnaútfellingu og eðlisfræðilega gufuútfellingarhúðunarkerfi.

Það eru til margar gerðir af lofttæmisofni segulrónsputtering. Hver hefur mismunandi vinnureglur og notkunarhluti. En þeir eiga eitt sameiginlegt: samspil segulsviðs og rafeinda veldur því að rafeindirnar snúast um yfirborð marksins og eykur þar með líkurnar á því að rafeindirnar skíti argon gasið til að framleiða jónir. Mynduðu jónirnar lenda á yfirborði skotmarksins undir áhrifum rafsviðs til að sprauta markið út. Í þróun síðustu áratuga hafa varanlegir seglar verið teknir upp smám saman og spólu seglar eru sjaldan notaðir.

Markuppspretta er skipt í jafnvægi og ójafnvægi. Jafnvægi miðauppspretta hefur samræmda húð og ójafnvægi markuppspretta hefur sterkan bindikraft við undirlagið. Jafnvægar miðstöðvar eru aðallega notaðar fyrir hálfleiðara ljósfilmur og ójafnvægar miðar eru aðallega notaðar fyrir skreytingarfilmur.

Óháð jafnvægi eða ójafnvægi, ef segullinn er kyrrstæður, ákvarða segulsviðseiginleikar hans að almennt marknýtingarhlutfall sé minna en 30 prósent. Til að auka nýtingarhraða markefnisins er hægt að nota snúnings segulsvið. En að snúa segulsviðinu krefst snúningskerfis og á sama tíma minnkar sputterhraðinn. Snúningssegulsvið eru aðallega notuð fyrir stór eða dýr skotmörk. Svo sem sputtering hálfleiðarafilmu. Fyrir lítinn búnað og almennan iðnaðarbúnað er kyrrstöðumarkmið segulsviðsins oft notuð.

Auðvelt er að sprauta málma og málmblöndur með segulómamarkgjafa í lofttæmisofni og kveikja og sputtering eru mjög þægileg. Þetta er vegna þess að markið (bakskaut), plasma og sputtered hluti/tæmihólfið geta myndað lykkju. En ef sputtering einangrunarefni eins og keramik, er hringrásin rofin. Svo fólk notar hátíðni aflgjafa og bætir sterkum þéttum við lykkjuna. Á þennan hátt verður markefnið að þétti í einangrunarrásinni. Hins vegar er hátíðni magnetron sputtering aflgjafinn dýr, sputtering hlutfallið er mjög lítið og jarðtengingartæknin er mjög flókin, svo það er erfitt að nota það í stórum stíl. Til að leysa þetta vandamál var magnetron reactive sputtering fundin upp. Það er að nota málmmarkmið, bæta við argon og hvarfgjarnri gasi eins og köfnunarefni eða súrefni. Þegar málmurinn lendir á hlutnum, sameinast hann við hvarfgasið og myndar nítríð eða oxíð vegna orkubreytingar.

Umsókn

   Parameter

Fyrirtækið okkar

maq per Qat: skartgripir pvd húðunarvél, Kína, birgja, framleiðendur, verksmiðju, sérsniðin, kaupa, verð, tilvitnun