Ryðfrítt stál PVD húðunarvél

PVD húðunarbúnaður er tæki sem bráðnar og gufar upp málmál við háan hita undir háu lofttæmi, þannig að gufan af áli er sett á yfirborð plastfilmunnar, þannig að yfirborð plastfilmunnar hefur málmgljáa. Sem tækni til að framleiða ákveðna filmu hefur tómarúmhúðunartækni fjölbreytt notkunarsvið í raunverulegri framleiðslu og lífinu.

Í magnetron sputtering húðunarferlinu eru vandamálin við einsleitni filmuþykktar, filmumyndunargæði og sputteringshraði mjög áhyggjufull í hagnýtri framleiðslu. Þættirnir sem hafa áhrif á stöðugleika þessara ferla eru aðallega sputtering máttur, gasþrýstingur og argon hreinleiki, fjarlægð milli marks og undirlags, styrkur og dreifing segulsviðs, hitastig og hreinleika undirlags osfrv. Þekking og tökum á þessum þáttum getur hjálpað til við að finna fljótt orsök og lausn bilunarinnar.

1. Áhrif sputterkrafts

Aukning sputtering kraftsins mun bæta einsleitni filmuþykktar og sputtering hlutfalls.Með aukningu sputtering kraftsins eykst flatarmál plasma, þannig að einsleitni filmulagsins verður bætt. Aukning aflsins getur bætt jónunarstig argon gass og aukið fjölda sputtered mark atóma og þar með aukið sputtering hraða. Þessar markatóm eru settar á undirlagið með mikilli orku, þannig að viðloðunin milli markatómanna og undirlagsins og þéttleiki filmunnar er hægt að bæta. Þannig eru filmumyndandi gæði þunnu filmunnar bætt. Hins vegar mun of mikið afl valda því að frumeindir sprengja undirlagið með of mikilli orku og aukarafeindir munu einnig aukast í samræmi við það, sem veldur því að hitastig undirlagsins verður of hátt og dregur úr kvikmyndagæði og sputterhraða kvikmyndarinnar.

2, áhrif miða stöð fjarlægð

Þegar fjarlægðin milli miða og grunns er lítil eru kvikmyndagæðin mikil og sputtering hlutfallið er hátt, en einsleitni filmulagsins er léleg. Þegar fjarlægðin milli miða og grunns er aukin munu kvikmyndagæði og sputtering hlutfall minnka og einsleitni kvikmyndarinnar verður bætt. Þess vegna er viðeigandi fjarlægð frá miði til grunns mikilvægur þáttur til að tryggja stöðugleika ferlisins. Þar sem búnaðurinn hefur verið stilltur með viðeigandi grunnfjarlægð í verksmiðjunni verður ekki fjallað um það hér.

Umsókn

Parameter

Fyrirtækið okkar

maq per Qat: ryðfríu stáli pvd húðunarvél, Kína, birgja, framleiðendur, verksmiðju, sérsniðin, kaupa, verð, tilvitnun