Snúningshúðunarvél

Millitíðni sputtering er líka eins konar segulrót sputtering.

Það eru til margar gerðir af segulstraumspúttingu, sem má skipta í DC segulstrauðspúttingu, útvarpsbylgjusegultúðu og millitíðni segulmagnsputtering í samræmi við aflgjafann sem notaður er. Aflgjafinn sem notaður er í DC segulómasputtering er DC háspennuaflgjafi, venjulega 300-1000 V, sem einkennist af hröðum sputtering hraða, litlum tilkostnaði og ódýru viðhaldi á síðari tíma. Hins vegar er aðeins hægt að sputtera málmmörkum. Ef skotmarkið er einangrunarefni, eftir því sem sputtering þróast, mun markið safna miklu magni af hleðslu, sem leiðir til þess að sputtering getur ekki haldið áfram. Þess vegna er DC magnetron sputtering venjulega notuð fyrir málmmörk. Vegna lágs kostnaðar og einfaldrar uppbyggingar er það mikið notað í iðnaði. Tíðni RF aflgjafans sem notaður er í RF segulstraumsputtering er venjulega 13,56 MHz, sem getur leyst vandamálið að DC segulstraumsputtering getur ekki sprottið einangrandi skotmörk. Eiginleikar RF segulómasputtering eru: hægt er að sputtera bæði einangrunarmarkmið og málmmarkmiðum og viðloðunin milli filmunnar og undirlagsins er sterk. Hins vegar, vegna flókinnar uppbyggingar og búnaðar, hás verðs á RF aflgjafa, hás viðhaldskostnaðar, geislunar á mannslíkamann og þörf fyrir utanaðkomandi samsvörun net, er það ekki hentugur fyrir iðnaðarframleiðslu. Millitíðni segulóna sputtering er oft notuð til að hvarfga sputtering til að undirbúa málmblöndur kvikmyndir. Til viðbótar við argon er litlu magni af hvarfgjarnum lofttegundum eins og köfnunarefni, súrefni o.s.frv. bætt í holrúmið til að setja sameindir þessara hvarfgjarna lofttegunda í frumeindir markefnisins. á undirlagið til að mynda málmblönduð filmu. Þar sem DC magnetron sputtering er mikið notað í iðnaði, inniheldur magnetron sputtering borðið tómarúmskerfi, sputtering húðunarkerfi, gas og stjórnkerfi.

Umsókn

Parameter

Fyrirtækið okkar

maq per Qat: snúningshúðunarvél, Kína, birgjar, framleiðendur, verksmiðja, sérsniðin, kaup, verð, tilvitnun