Vacuum Coating Machine Vacuum Coating Machine Framleiðandi Vacuum Coating Equipment Process Cleaning

Tómarúmsefnið ætti að þrífa fyrir tómarúmsferli tómarúmhúðunarvélarinnar til að fjarlægja mengunarefni frá yfirborði vinnustykkisins eða kerfisefnisins; yfirborðshreinsun hluta lampahúðunarvélarinnar er einnig nauðsynleg, vegna þess að gas- og gufugjafar af völdum mengunarefna eru ekki aðeins. Það mun gera tómarúmskerfið ófært um að fá nauðsynlega lofttæmisgráðu. Þar að auki, vegna nærveru mengunarefna, mun það einnig hafa áhrif á styrk og þéttingargetu tómarúmshlutatengingarinnar.

Hægt er að skilgreina mengunarefni fyrir lofttæmihúðunarvél sem "hvers konar gagnslaus efni eða orku", fjölbogajónahúðunarvél er hægt að skipta í fast, gas og fljótandi í samræmi við líkamlegt ástand mengunarefna, þau eru til í formi filmu eða korna. . Hvað varðar efnafræðilega eiginleika þess getur það verið í jónuðu eða samgildu ástandi og getur verið ólífrænt eða lífrænt.

Yfirborð tómarúmshúðarans sem er útsett fyrir lofti er viðkvæmast fyrir mengun. Það eru margar uppsprettur mengunar. Upphafsmengunin er venjulega hluti af myndunarferli yfirborðsins sjálfs. Aðsogsfyrirbæri, efnahvörf, útskolun og þurrkunarferli, vélræn meðferð og dreifingar- og aðskilnaðarferli stuðla allt að aukinni yfirborðsmengun ýmissa íhluta. Algengustu tegundir mengunarefna á yfirborði tómarúmefna eru sem hér segir.

①Fita: smurefni, skurðarvökvar, lofttæmisfeiti osfrv., sem mengast við vinnslu, samsetningu og notkun;

②Vatnsbundið: handsviti við notkun, vatnsgufa við blástur, munnvatn osfrv.;

③Yfirborðsoxíð: yfirborðsoxíðið sem myndast við að efnið er sett í loftið eða sett í rakt loft í langan tíma;

④Sýra, basa og salt efni: leifar af efnum við hreinsun, handsviti, steinefni í vatni osfrv.;

⑤ Fægingarleifar og ryk og önnur lífræn efni í andrúmsloftinu.

Samkvæmt kröfunum má skipta hreinsuðu yfirborði tómarúmhúðunarvélarinnar í tvo flokka: hreint yfirborð á atómstigi og hreint yfirborð í vinnslutækni.

Hreinsunarvinnan á fyrstu stigum tómarúmhúðunarvélarinnar getur dregið úr miklum vandræðum, komið í veg fyrir að mörg lítil vandamál komi upp í sputtering control sputtering húðunarvélinni og hafa mjög jákvæð áhrif á vinnu skilvirkni og húðunargæði. af tómarúmhúðunarvélinni. Það getur bætt vinnustöðugleika allra æðaveggja og annarra íhlutaflata í tómarúmskerfinu til muna við ýmis vinnuskilyrði. Þessar rekstrarskilyrði eru meðal annars: hár hiti, lágt hitastig og losun og sprengjuárás rafeinda, jóna, ljóseinda eða þungra agna.