Mæling og eftirlitsaðferð við filmuþykkt nútíma tómarúmhúðunarvélar

Beinasta húðunarstýringaraðferðin er Quartz Crystal Microbalance Method (QCM), sem getur beint uppgufunargjafanum og hringt skífunni í gegnum PID-stýringu til að viðhalda uppgufunarhraðanum. Svo lengi sem tækið er tengt við kerfisstýringarhugbúnaðinn getur það stjórnað öllu húðunarferlinu. En nákvæmni (QCM) er takmörkuð, að hluta til vegna þess að það fylgist með gæðum húðarinnar sem er sett á frekar en sjónþykkt hennar.

Einnig, á meðan QCM er mjög stöðugt við lægra hitastig, verður það mjög hitastig viðkvæmt við hærra hitastig. Við langvarandi upphitun er erfitt að koma í veg fyrir að skynjarinn falli inn á þetta viðkvæma svæði, sem veldur umtalsverðum villum í filmunni.

Sjónvöktun er ákjósanlegasta aðferðin við eftirlit með hárnákvæmni húðun vegna þess að það gerir nákvæmari stjórn á lagþykkt (ef það er notað á réttan hátt). Aukin nákvæmni stafar af mörgum þáttum, en grundvallarástæðan er eftirlit með sjónþykkt.

OPTIMAL SWA-I-05 sjónvöktunarkerfið með einni bylgjulengd notar óbeina mælingu og eftirlit, ásamt háþróaðri sjónvöktunarhugbúnaði sem þróaður var af Dr. Wang, til að bæta kenninguna og aðferðina um ljóssvörun fyrir breytingum á filmuþykkt á áhrifaríkan hátt. draga úr endanlegri villu, veita endurgjöf eða sendingarval á stillingum og breitt úrval af vöktunarbylgjulengdum. Það er sérstaklega hentugur fyrir húðunarvöktun á ýmsum filmuþykktum, þar með talið óreglulegri filmuvöktun.