Kynning á tómarúmsuppgufunarhúðunartækni

Tómarúmsuppgufunarhúðunartækni framleiðenda lofttæmishúðunarvéla felur í sér viðnámsuppgufunarhúð, rafeindageislauppgufunarhúð, leysigeislauppgufunarhúð, hátíðni virkjunarhitun uppgufunarhúð osfrv. Eftirfarandi tafla sýnir eiginleika nokkurra uppgufunarhúðunartækni.

1. Viðnám uppgufunarhúðun: Uppgufunargjafinn viðnám er notaður til að gufa upp efni með lágt bræðslumark, eins og gull, silfur, sinksúlfíð, magnesíumflúoríð, krómtríoxíð osfrv. Uppgufunargjafar viðnáms eru almennt úr wolfram, mólýbdeni og tantal.

2. Uppgufunarhúð rafeindageisla: Eftir að filmuefnið er gufað upp og gufað upp með rafeindageislahitun er það mikilvæg upphitunaraðferð í lofttæmiuppgufunartækni til að þétta og mynda filmu á yfirborði undirlagsins. Það eru margar tegundir af slíkum tækjum. Með víðtækri beitingu þunnfilmutækni eru ekki aðeins kröfur um tegundir himna margvíslegar, heldur einnig kröfur um gæði himnanna strangari. Uppgufun viðnám getur ekki lengur uppfyllt þarfir uppgufunar sumra málma og málmleysingja. Rafeindageislavarmagjafinn getur fengið miklu meiri orkuþéttleika en viðnámshitagjafinn og gildið getur náð 104-109w/cm2, þannig að hægt er að hita filmuna í 3000-6000c. Þetta veitir betri hitagjafa til að gufa upp eldföstum málmum og málmlausum efnum eins og wolfram, mólýbdeni, germaníum, SiO2, AI2O3 osfrv. Þar að auki, þar sem efnið sem á að gufa upp er sett í vatnskælda deiglu, mun uppgufun Hægt er að forðast ílátsefni og viðbrögð milli ílátsefnisins og filmuefnisins, sem er afar mikilvægt til að bæta hreinleika filmunnar. Að auki er hægt að bæta hita beint við yfirborð filmuefnisins, þannig að hitauppstreymi er mikil og hitaleiðni og hitageislunartap eru lítil.

3. Hátíðni örvunarhitun uppgufunarhúðun: Málmurinn er hituð að uppgufunarhitastigi með því að nota meginregluna um örvunarhitun. Settu deigluna sem inniheldur filmuefnið í miðju spíralspólunnar (snertilaus) og láttu hátíðnistraum í gegnum spóluna, sem getur gert málmfilmuefnið til að mynda straum til að hita sig upp þar til það gufar upp.

Einkenni örvunarhitunar uppgufunargjafans: 1) Uppgufunarhraði er mikill 2) Hitastig uppgufunargjafans er einsleitt og stöðugt og það er ekki auðvelt að framleiða áldropa skvetta fyrirbæri 3) Uppgufunargjafinn er hlaðinn í einu , engin vírfóðrunarbúnaður er nauðsynlegur, hitastýringin er tiltölulega auðveld og aðgerðin er einföld 4) Fyrir kvikmyndina Kröfur um hreinleika efnis eru aðeins breiðari.

4. Bogahitun uppgufunarhúðun: Upphitunaraðferð svipað rafeindageislahitunaraðferðinni er upphitunaraðferðin með bogaútskrift. Það hefur einnig eiginleika þess að forðast mengun viðnámshitunarefna eða deigluefna og hitunarhitastigið er hátt, sérstaklega hentugur fyrir uppgufun eldföstum málmum, grafíti osfrv. Með hátt bræðslumark og ákveðna leiðni. Á sama tíma er búnaðurinn sem notaður er í þessari aðferð einfaldari en rafeindageislahitunarbúnaðurinn, þannig að það er tiltölulega ódýrt uppgufunartæki.

5. Laser geisla uppgufunarhúðun: Aðferðin við að nota púls leysir með miklum kraftþéttleika til að gufa upp efnið til að mynda þunnt filmu er almennt kölluð leysir uppgufun